Революция в контроле производства микрочипов: Omron представляет рентгеновский сканер нового поколения

Компания Omron, известный японский производитель медицинского оборудования и автоматизированных систем, объявила о предстоящем запуске революционного рентгеновского сканера, который призван ускорить производство полупроводников.

Новый аппарат VT-X950, который появится на рынке весной, будет способен обнаруживать дефекты в производстве современных микросхем с точностью до 1 нанометра за счёт создания трёхмерных изображений чипов.

Технология значительно опережает существующие решения в отрасли. Благодаря скорости сканирования всего в 30 секунд, производители смогут почти в реальном времени контролировать процесс производства, что позволит оперативно вносить корректировки и повышать качество выпускаемой продукции.

Автоматическая система рентгеновского контроля VT-X950

Кадзухиса Шибуя, генеральный менеджер Omron по системам контроля, подчеркнул важность компьютерной томографии (КТ) в качестве инструмента контроля качества при изготовлении полупроводников.

Omron, чьи доходы от автоматизации фабрик составляют более половины годового оборота в 876 миллиардов иен ($5.9 миллиардов), впервые вошла в цепочку поставок полупроводников в 2012 году с выпуском VT-X900.

Растущая сложность и высокая стоимость производства чипов требуют новых решений в области контроля качества. Например, технологии укладки чипов в трёхмерные структуры, используемые TSMC и Samsung, значительно повышают требования к точности производства.

Акира Минамикава, аналитик компании Omdia, отметил, что потребность в КТ-сканировании в процессе производства чипов становится всё более насущной, особенно в свете развития технологий уменьшения размеров чипов.

Традиционно производители полупроводников использовали функциональные тесты для проверки устройств, однако новые решения Omron позволяют проводить КТ-сканирование прямо на производственных линиях, существенно сокращая время инспекции и минимизируя потери кремния.